型号：TEMD 600
价格：45万元
技术指标：电子束蒸发功率 8kW，水冷6坩埚，电动转位，带高压电源及手控箱，有高压灭弧自动复位功能，热阻蒸发电极2组，兼容金属材料与有机材料的蒸发源设计，蒸发源间设有隔离挡板，蒸发电源功率2kW，可与膜厚仪通讯连接，以设定各镀层膜厚方式控制切换蒸发电极， 真空系统：机械泵+复合分子泵，极限真空小于9x10-5。
应用：通过电子束或电阻加热金属，使之升华或蒸发并沉积在衬底上以获得薄膜。
