厂商：中国科学院光电技术研究所

型号：URE2000/35NI

价格：27.88万元

技术指标：曝光面积：100mm×100mm，分辨力：1um（胶厚2 um的正胶），汞灯功率：350W（直流，进口汞灯），照明不均匀性：4%（直径100mm范围），照明面光强：>20mW/cm2@365nm，最大胶厚：350μm。

应用：利用照相复制与化学腐蚀相结合的技术，在工件表面制取精密、微细和复杂薄层图形的化学加工，多用于半导体器件与集成电路的制作。