扫描探针显微镜

厂商：Bruker

型号：Dimension ICON

应用：材料成像、力学表征、磁性表征、加热冷却

技术指标：X-Y方向扫描范围：90um*90um；Z方向扫描范围：10um；垂直方向噪音基底：<30pmRMS；X-Y定位噪音（开环）：≤0.15nmRMS；X-Y定位噪音（闭环）：≤0.10nmRMS；Z传感器噪音水平（闭环）：35pmRMS；整体线性误差（X-Y-Z）：0.5%。

样品尺寸/夹具：210mm真空吸盘样品台，直径≤210mm,厚度≤15mm；电动定位样品台（X-Y轴）：180mm*180mm可视区域；单向2um重复性；双向3um重复性