椭圆偏振光谱仪

厂商：J.A.Woollam

型号：M-2000UI

价格：79.9万

功能：测量亚微米到几十微米的薄膜厚度及光学常数。

技术指标：

1、波长范围及波长点：245-1690nm，676个波长点；

2、准确性：Psi=45°±0.075°，Delta=0°±0.05°；

3、厚度重复性：2nm的自然氧化层（硅片）30次测量的SiO2厚度标准偏差为0.002nm；

4、自动变角基座：变角范围45°-90°；

5、聚焦件：可将光斑缩小至300um左右；

6、QCM联用台：可将QCM和椭偏仪联用。

仪器配置：椭偏仪主机，QCM样品台，微光斑附件，卤素灯，D2灯

应用：主要应用于半导体材料，玻璃和塑料上的光学涂层，生物材料和有机薄膜（如聚合物刷），金属薄膜等的厚度、光学常数测量、成分分析。与QCMD联用实行实时监测。