台阶膜厚仪

厂商：KLA Tencor

型号：D-500

价格：121.2万元

技术指标：可精确测量纳米级至2毫米台阶高度，并可分析薄膜表面粗糙度、波纹度、应力，具有6.0A (1σ)或0.1%台阶高度重复性以及亚埃级的分辨率

应用：薄膜厚度测量